旁瓣

由於光學衍射產生鄰近效應，在主圖形外產生的非設計需要的圖形，通常發生在拐角圖形處，因衍射光的干涉效應額外出現如天線旁瓣狀圖形 ^[2]  ，當曝光能力過強，光致抗蝕劑能量閾值過低時，顯影后容易留下額外的圖形 ^[1]  。