掃描矢量化

掃描矢量化可以自動進行，但是掃描地圖中包含多種信息，系統難以自動識別分辨，這使得完全矢量化的結果不那麼"可靠"；實際應用中常採用交互跟蹤矢量化或半自動矢量化。

矢量掃描EBL系統，用來提高產能，是一種採用定向電子束只對要曝光的芯片部分進行掃描方法。在此方法中，每個需要曝光區域的數字位置被送給x,y數/模轉換器（DAC），電子束只指向那些需要曝光的像素。必須事先用軟件將像素按順序排好，以便將電子束偏轉所需的時間減小到最小。矢量掃描系統還有第二個優於光柵掃描的重要優點。忽略系統相差和非線性後，圖形地址的精度簡單地取決於數字的字長。對於矢量掃描系統來説，在決定系統產出量時，DAC的速度起着決定性作用 ^[1]  。