-
掃描式電子顯微鏡
鎖定
掃描式電子顯微鏡是一種用於材料科學、紡織科學技術領域的分析儀器,於2016年10月28日啓用。
- 中文名
- 掃描式電子顯微鏡
- 產 地
- 日本
- 學科領域
- 材料科學、紡織科學技術
- 啓用日期
- 2016年10月28日
- 所屬類別
- 分析儀器 > 電子光學儀器 > 掃描電鏡
掃描式電子顯微鏡技術指標
放大倍數:5-300000倍;分辨率:高真空:3nm(30KV)/8nm(3KV)/15nm(1KV) 低真空:4.0nm(30KV) ;電子槍:全自動,亦可手動調整;樣品台:大全對中型X=80mm,Y=40mm,Z=5到48mm,傾斜:-10 - +90度,旋轉:360度;燈絲:工廠預對中燈絲(鎢);圖像模式: 二次電子像,成份像,拓撲像,陰影像;加速電壓:5-30KV ; 聚光鏡:可變焦聚光鏡; 物鏡:超級錐形物鏡; 物鏡光闌:3檔,X-Y可細調; 電位移:±50微米; 自動功能:聚焦,亮度,襯度,消像散; 最大樣品:直徑為150mm; 樣品交換:抽拉式樣品台; 真空系統:全自動擴散泵DP。
[1]
掃描式電子顯微鏡主要功能
JSM-6510A/ JSM-6510LA分析型掃描電子顯微鏡,與日本電子公司的元素分析儀(EDS),統合於一體。結構緊湊的EDS由顯微鏡主體系統的電腦控制,操作員只用一隻鼠標,就可完成從圖像觀測到元素分析的整個過程。
[1]
- 參考資料
-
- 1. 掃描式電子顯微鏡 .國家科技基礎條件平台中心[引用日期2020-12-13]