掃描干涉儀

它的兩種典型結構如圖1所示。圖1中a是把標準具置於真空室中，用調節真空室的氣壓去改變折射率實現掃描。圖1中b是把標準具置於密封的真空室中，利用改變施加到電致伸縮元件上的電壓去調節兩反射面的間隔，實現掃描。 　把掃描干涉儀、單色儀和光電接收技術結合起來可研究光譜線的超精細結構，也就是光譜線的各光譜成分的波長和強度。掃描干涉儀在研究激光縱模方面意義更大,並且往往不需單色儀,只需使用激光器、隔離器、掃描干涉儀、光電探測電路組成的系統，即可測定激光各縱模波長和強度。