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掃描場

鎖定
掃描曝光方式的電子束曝光系統或者激光曝光系統中,偏轉器的偏轉範圍有限,需要設定一定大小的掃描寬度,在這個範圍內可實施偏轉畸變校正,這個掃描曝光的範圍稱為掃描場 [1] 
中文名
掃描場
外文名
Scanning field
場與場之間的拼接靠枱面的精密移動實現,為了保證曝光的拼接精度,通常還在偏轉區內設定更小的子場,子場之間的圖形拼接精度控制偏轉系統實現,掃描場的大小由掃描模式確定 [2] 
參考資料