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https://baike.baidu.hk/item/掃描場/24143663
掃描場
鎖定
掃描曝光方式的
電子束曝光系統
或者
激光
曝光系統中,偏轉器的偏轉範圍有限,需要設定一定大小的掃描
寬度
,在這個範圍內可實施偏轉
畸變
校正,這個掃描曝光的範圍稱為掃描場
[1]
。
中文名
掃描場
外文名
Scanning field
場與場之間的拼接靠枱面的精密移動實現,為了保證
曝光
的拼接精度,通常還在偏轉區內設定更小的子場,子場之間的圖形拼接精度控制偏轉系統實現,掃描場的大小由掃描模式確定
[2]
。
參考資料
1.
微電子學微光刻技術術語,陳寶欽,2015.
2.
超大規模集成電路先進光刻理論與應用
.百度學術
.2016
[引用日期2019-11-14]
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fscx1008
(2021-11-27)
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