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拋光墊
鎖定
拋光墊又稱拋光皮,拋光布,拋光片,化學機械拋光中決定表面質量的重要輔料。
- 中文名
- 拋光墊
- 外文名
- Polishing pad, Polishing cloth
- 按是否有磨料
- 分為有磨料拋光墊和無磨料拋光墊
- 按表面結構
- 平面型、網格型和螺旋線型
拋光墊分類
拋光墊作用
①把拋光液有效均勻地輸送到拋光墊的不同區域;
②將拋光後便化學反應充分進行;的反應物、碎屑等順利排出,達到去除效果;
③維持拋光墊表面的拋光液薄膜, 以便化學反應充分進行;
④保持拋光過程的平穩、表面不變形, 以便獲得較好的晶片表面形貌;
拋光墊影響因素
①硬度-拋光墊的硬度決定保持面形精度的能力;
②壓縮比-壓縮比反應拋光墊的抗變形能力;
③涵養量-拋光墊的涵養量是單位體積的拋光墊存儲拋光液的質量;
④粗糙度-表面粗糙度是拋光墊表面的凸凹不平程度,;
⑤密度-密度是拋光墊材料的緻密程度;