微系統與納米工程

《微系統與納米工程》為致力於微納機電系統研究的科研人員，提供了一個發表研究成果的優質國際性平台。採用開放獲取形式傳播這一重要領域中的最新進展。

2014年5月28日，中國上海—英國自然出版集團（NPG）與中國科學院電子學研究所（簡稱“中科院電子所”，IECAS）今天宣佈將於2015年出版新的開放獲取（Open Access）在線期刊——《微系統與納米工程》（Microsystems & Nanoengineering）。該刊將於2015年3月在nature.com正式上線，並於2016年下半年開始接受投稿。 ^[1] 

主要發表原創性論文及綜述，反應微納機電系統（MEMS/NEMS）領域的最新研究進展。稿件刊登範疇包括微納米器件和系統的新設計（理論、建模和仿真）、先進製造、測試技術、可靠性及新應用、納米工程技術等。