微系統與微結構製造教育部重點實驗室

微系統與微結構製造教育部重點實驗室以微系統與微結構為研究對象，以機械製造及其自動化、機械電子工程、材料加工工程、精密儀器及機械等4個國家級重點學科為主要依託，以微電子與固體物理、化學、物理學等學科為基礎，通過多學科交叉與融合，建設和完善了微納米制造理論與方法、微系統與微結構設計、微結構加工技術、微納米技術裝備、微成形與微連接技術、納米材料製備表徵與應用等若干研究方向。

微系統與微結構製造教育部重點實驗室成立於2006年，依託哈爾濱工業大學，2009年7月通過建設驗收。

微系統與微結構製造教育部重點實驗室擁有科研用房面積4000餘平方米，儀器設備300餘台，設備總值6000餘萬元。

微系統與微結構製造教育部重點實驗室有長江學者5名，國家傑出青年基金獲得者3名，國家優秀青年基金獲得者2名，國家重大基礎研究計劃首席科學家1名，教育部新世紀人才14名，黑龍江省傑出青年基金獲得者8名，教育部創新團隊1個。 ^[1]