微米技術

一根頭髮絲的直徑約為70～100微米，細菌的大小約為1微米～2微米，煙塵的微粒直徑還不到1微米，而病毒通常只有0.25微米左右。但在微電子技術中，1微米可以容納很多晶體管。在硅芯片上製成晶體管集成電路，要在極小的面積上施工製造，最關鍵的技術是使晶體管的線寬要微縮，這樣才能使晶體管和集成電路之間緊密地編織到最小的空間裏。在只有頭髮絲直徑大小的硅片上，當線寬為1微米時，就可以容納400個晶體管；如線寬為0.5微米，晶體管可達1500個；線寬減到0.25微米，則晶體管可達4500個以上。在如此微細的空間裏進行電路安排和製作，只能在極高倍的隧道掃描顯微鏡下操作。70年代初期，集成電路中晶體管的線寬為3微米～5微米；70年代中期至80年代中期，線寬縮小到1微米；80年代中期以後，線寬縮小到1微米以下。隨着線寬的不斷縮小，集成電路的集成度和存貯信息量不斷提高。線寬為1微米時，集成度可高達數萬至百萬級；當線寬小於1微米時，集成度可高達4兆～64兆百萬信息量。