微波等離子體化學氣相沉積

微波等離子體 CVD （Microwave PCVD, MPCVD）將微波發生器產生的微波用波導管經隔離器進入反應器，並通入 CH4與 H2的混合氣體，在微波的激勵下，在反應室內產生輝光放電，使反應氣體的分子離化，產生等離子體，在襯底上沉積得到金剛石膜。