微束分析

係指用四極透鏡聚焦或狹縫準直，或兼用兩者的方法將加速器產生的帶電粒子束或光束的束斑直徑縮小到幾一微米，甚至到亞微米尺寸，然後進行分析的方法。專用於樣品中雜質的微區分佈研究，對大氣顆粒物、生物細胞、礦物包裹體、宇宙塵等的研究有重要意義 ^[1]