微區分析

釋文

利用各種微束或探針技術來直接（原位）分析在光學顯微鏡下所選的微區物質的化學成分分析。許多微區分析手段可同時進行形貌觀察和結構測定。微區分析的空間分辨率在微米級，檢出限在（1～500）×10^-6水平。較早使用的技術有激光光譜、電子探針和各類電鏡。發展起來的有激光燒蝕等離子質譜、二次離子探針質譜、掃描核探針和同步輻射X射線探針等。微區分析主要有兩種工作方式：一是定點分析，二是掃描分析。隨着各種微束技術的進步和地學微觀研究的需要，礦物岩石的微區、微粒研究得到迅速發展。