微分干涉相襯

自然光先經過起偏器成為偏光器，而後在經過干涉稜鏡（也叫干涉滑尺）分開角度很小的相干光。偏振光由於樣品表面粗糙程度的不同，突起位置會第一時間反射回去，而凹陷位置會延遲一個時間反射，因此將這些信息反映到圖像上，就可以形成表現樣品表面高低起伏的圖像信息。