微光學與系統

微光學是微米與納米尺度上的光學。由於這種微結構尺度已接近或小於光波長，因此，常規光學的理論與加工技術已不適宜於微光學。本書以微光學與納米光學理論為基礎，主要闡述微光學器件及系統的原理與技術，以及微光學加工與測試技術。 微光學是20世紀90年代的產物，是知識密集、前沿與先進的光學新分支，被譽為光學新技術。本書主要取材於作者近15年來承擔國家相關科研的成果和部分國內外最新成果，是一本綜合而成的有新理論、新技術、新方法的有實用參考價值的專業技術書。 本書適合從事應用物理、光學工程、光電工程、自動控制、先進製造和先進國防的研究人員，亦適合從事微電子技術、微電機系統、微系統、微結構的設計與製造人員，同時本書可作為高等學校相關專業教師、研究生、高年級大學生的教材和參考書。 ^[1] 

第1章　微光學與系統概述

第2章　微光學理論基礎

第3章　微光學器件及系統技術

第4章　光通信中的微光學器件

第5章　光學微細加工技術

第6章　微系統中的光技術

第7章　自由究竟微光學

第8章　納米光子學基礎