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循環流化牀高效清潔燃燒與利用山西省重點實驗室
鎖定
循環流化牀高效清潔燃燒與利用山西省重點實驗室依託太原理工大學。
- 中文名
- 循環流化牀高效清潔燃燒與利用山西省重點實驗室
- 主管部門
- 太原理工大學
- 機構屬性
- 山西省重點實驗室
目錄
- 1 研究方向
循環流化牀高效清潔燃燒與利用山西省重點實驗室研究方向
主要從事寬禁帶半導體單晶生長及加工機理、缺陷形成及演變機制、薄膜生長及分析表徵研究,在寬禁帶半導體設備方面形成了特色。已經形成從設備研製、粉料製備、單晶生長、晶片加工到薄膜材料驗證的研究中試線。
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- 參考資料
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- 1. 循環流化牀高效清潔燃燒與利用山西省重點實驗室 .山西轉型綜合改革示範區大型科學儀器設備共享平台[引用日期2021-01-17]
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