平面度測量

長度計量技術中對平面度誤差的測量。平面是由直線組成的，因此直線度測量中直尺法、光學準直法、光學自準直法、重力法等也適用於測量平面度誤差。測量平面度時，先測出若干截面的直線度，再把各測點的量值按平面度公差帶定義(見形位公差)利用圖解法或計算法進行數據處理即可得出平面度誤差。也有利用光波干涉法和平板塗色法測量平面誤差的。光波干涉法常利用平晶進行，圖1為測量所得的不同干涉條紋。圖1 a的干涉條紋是直的,而且間距相等,只在周邊上稍有彎曲。這説明被檢驗表面是平的，但與光學平晶不平行,而且在圓周部分有微小的偏差。圖1b的干涉條紋彎曲而且間隔不相等，表明被檢驗表面是球形的,平晶有微小傾斜。條紋彎曲度約為條紋間距的1.5倍,表示平面度誤差為1.5×0.3μm=0.45μm。圖1c的干涉條紋呈圓形，同樣表明被檢驗表面是球形表面。將條紋數目乘以所用光束波長的一半，即得所求的平面誤差為1.5×0.3μm=0.45μm。圖1d的干涉條紋成橢圓形排列，説明被檢驗表面是桶形的。可以把干涉圖案作為被檢驗表面的等高線,因此可以畫出該表面的形狀。這種方法僅適宜測量高光潔表面，測量面積也較小，但測量精確度很高。