平板式電極結構

包括：一上極板，帶有加熱器，基片放置於上極板；一下極板，設有上層孔板、下層孔板，其中所述的上層孔板、下層孔板之間為上層混氣室，下層孔板之下為下層混氣室；下層混氣室下部另設有電極接入端子，電源通過分配器採用這些電極接入端子引入；一進氣口，連接於下極板的下端，由上而下依次為一絕緣陶瓷層和一金屬層。