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平整度測試儀

平整度測試系統，採用光學方法測量晶圓、藍寶石、Sic、Si、玻璃等材質的表面特徵，在無需任何接觸的情況下測量厚度、TTV、LTV、彎曲度、平整度等，可在線和離線測量^[1] 。

平整度測試儀儀器特點

■厚度、TTV、LTV、翹曲度、彎曲度、平坦度測量；

■無接觸測量；

■無需校準；

■高精度、高重複性；

■樣品台可選：4寸、6寸、8寸；

■強大的分析軟件，可顯示3D表面形貌；

■同時進行各種參數的測量，具備超高的測試速度；

■TTV

■精確度：±0.1um

■重複性精度：0.01um

■厚度

■精確度：±0.2um

■重複性精度：0.1um

■測試範圍：50-2000um

■翹曲度/彎曲度

■精確度：0.5um

■重複性精度：0.2um

■測試範圍：200um

■整機參數

■測量時間：＜100秒

■最大測量尺寸：8寸

■尺寸：550*602*291mm

■整機功率：800W

參考資料

詞條統計