常壓化學氣相沉積

常壓化學氣相沉積，在常壓條件下的化學氣相沉積方法。反應氣體（如硅烷、硼烷和氧）在常壓下起化學反應而生成一層固態的生成物沉積於襯底上。其沉積工藝參數易控制，重複性好、宜於批量生產。 ^[1]