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https://baike.baidu.hk/item/射頻離子鍍/54373594
射頻離子鍍
鎖定
射頻離子鍍,採用射頻電源的離子鍍。
[1]
中文名
射頻離子鍍
類 型
離子鍍
參考資料
1.
射頻離子鍍
.大辭海
[引用日期2020-11-12]
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最近更新:
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(2023-09-30)
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