多晶硅生產技術

本書主要講述了改良西門子法生產多晶硅的製備原理。內容包括多晶硅原料製備、原料提純、多晶硅製備、尾氣回收、硅芯的製備等核心內容，同時對超純水的製備，氫氣、氯氣的製備和淨化作了詳細介紹。本書緊密結合生產實踐，注重了理論與實踐的有機結合。 ^[1] 

本書可作為高職高專硅材料技術及光伏專業的教材，同時也可作為中專、技校和從事單晶硅生產的企業員工的培訓教材，還可供相關專業工程技術人員學習參考。 ^[1] 

第1章概述1

11硅的簡介1

12硅材料工業概況4

13多晶硅的生產方法7

小結12

習題12

第2章純水的製備13

21水的概述13

22離子交換法簡介14

23去離子水(高純水)的製備工藝15

24離子交換法制備純水17

25純水製備系統主要設備及工作原理19

26純水製備系統運行控制26

27純水製備系統的清洗27

28高純水的測量30

小結32

註釋32

習題32

第3章工業硅的生產33

31工業硅生產原理及影響因素33

32工業硅生產工藝38

33工業硅生產操作41

34工業硅生產設備43

35生產操作及安全控制50

36煙氣淨化利用56

小結63

習題64

第4章氫氣的製備和淨化65

41氫氣的簡介65

42氫氣的生產工藝68

43氫氣的淨化、儲存和運輸71

44氫氣的安全使用73

小結75

習題75

第5章液氯的汽化76

51氯氣的性質76

52液氯的汽化77

53氯的存放和安全使用79

小結83

習題84

第6章氯化氫的合成85

61氯化氫的性質85

62氯化氫的合成原理85

63氯化氫合成工藝過程86

64主要設備及其作用86

65工藝條件選擇和操作要點87

66質量控制要點88

67安全控制89

小結89

習題89

第7章三氯氫硅的合成90

71三氯氫硅製備原理90

72三氯氫硅合成工藝流程90

73三氯氫硅合成的主要設備91

74三氯氫硅合成的工藝條件94

75生產現場操作要點97

小結98

習題99

第8章三氯氫硅的提純100

81三氯氫硅中雜質含量的分析100

82提純三氯氫硅的方法簡介102

83精餾的基本概念102

84雙組分溶液的氣液相平衡107

85精餾原理112

86精餾塔的物料衡算——操作線方程116

87雙組分連續精餾過程的計算126

88精餾提純設備139

89精餾工藝145

小結151

習題151

第9章三氯氫硅氫還原製備高純硅152

91三氯氫硅氫還原的原理及影響因素152

92三氯氫硅氫還原的工藝155

93三氯氫硅氫還原操作要點及事故處理157

94三氯氫硅氫還原工藝質量要求159

95三氯氫硅氫還原工藝中的計算159

96還原生產中的熱能綜合利用160

小結161

習題161

第10章還原尾氣幹法回收工藝162

101重要作用和意義162

102幹法回收的工藝過程163

103四氯化硅的氫化165

小結169

習題169

第11章硅芯的製備與腐蝕170

111硅芯的製備170

112硅芯腐蝕175

小結176

習題177

第12章硅烷法制備高純硅178

121硅烷的概述178

122原料的製取及處理180

123硅烷的發生184

124硅烷的提純189

125硅烷熱分解制備多晶硅191

小結193

習題194

參考文獻195 ^[1]