多參數傳感器

現代微機電技術和半導體技術能夠在硅基片上製作微電子集成電路和多功能傳感器陣列，用於測量各種化學量和物理量參數。這種傳感器成為多參數傳感器，表現為單一結構，集成在局部小面積上，能夠檢測一組化學量和物理量。多參數傳感器並不是一套簡單的單一功能的傳感器，而是為了減小芯片面積和分享數字或準數字輸出等結構高度集中的傳感器。高級傳感器能同時探測各種參數如温度、壓力、氣體和蒸汽濃度、味覺、加速度、慣性、電磁場區域等，它能夠產生頻時域輸出信號，攜帶傳感元件提供信息。

如果在一些通道中頻率和幾個被測量有線性函數關係，那麼這些影響多參數頻率傳感器的參數由專用算法計算。例如，對於雙參數頻率傳感器，有如下的線性轉換特徵

Fx1=a1y+b1x

Fx2=a2y+b2x

式子中a1、a2、b1、b2為敏感因子；x、y為檢測參數。

確定檢測參數x、y採用以下算法