多功能真空實驗儀

多功能真空實驗儀

1、設備的真空反應室、油擴散泵、真空管路部件全透明；

2、電氣控制有安全防護，防止誤操作對操作人員和設備造成的損傷；

3、管路採用不鏽鋼、真空橡膠管結合，閥門為電控雙向截止閥；真空室內有烘烤除氣裝置；

4、一機多用的功能，針對高校開展綜合性、設計性和開放性實驗的要求,預留有大空間的真空室，在配置一些組件後，就能方便開設其他擴展實驗項目。

1、Ф230×255mm玻璃真空室；

2、採用機械泵、四級玻璃質油擴散泵兩級真空系統，擴散泵油量125~140ml，需水冷；

3、真空度：開機60分鐘後可達5×10-3Pa，極限真空度：9.6×10-4Pa；恢復真空時間<40分鐘；

4、採用一對無氧銅電極蒸發電極，電極間距70mm，可選用鎢絲或鉬舟作蒸發源，蒸發電流調節範圍： 0～150A；

5、襯底可加熱，襯底加熱温度範圍：室温～200℃；

6、工作電壓：AC220V±5%，50Hz；整機功率：3kW；

7、工作環境要求：温度低於30℃，濕度≤70%；水循環用户自備。