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外延襯底
鎖定
外延襯底是2011年公佈的材料科學技術名詞。
- 中文名稱
- 外延襯底
- 英文名稱
- epitaxial substrate
- 定 義
- 具有特定晶面和適當電學、光學和機械特性的用於生長外延層的潔淨單晶薄片。
- 應用學科
- 材料科學技術（一級學科），半導體材料（二級學科），半導體材料製備（三級學科）
以上內容由全國科學技術名詞審定委員會審定公佈
外延襯底定義
具有特定晶面和適當電學、光學和機械特性的用於生長外延層的潔淨單晶薄片。
外延襯底出處
《材料科學技術名詞》。
- 參考資料
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- 1. 外延襯底 ．術語在線[引用日期2022-11-08]
