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固態源分子束外延
鎖定
固態源分子束外延是2011年公佈的材料科學技術名詞。
- 中文名稱
- 固態源分子束外延
- 英文名稱
- solid source molecular beam epitaxy，SSMBE
- 定 義
- 對化合物半導體薄膜而言，各組分均採用固體源物質的分子束外延生長的技術。
- 應用學科
- 材料科學技術（一級學科），半導體材料（二級學科），半導體材料製備（三級學科）
以上內容由全國科學技術名詞審定委員會審定公佈
固態源分子束外延定義
對化合物半導體薄膜而言，各組分均採用固體源物質的分子束外延生長的技術。
固態源分子束外延出處
《材料科學技術名詞》。
- 參考資料
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- 1. 固態源分子束外延 ．術語在線[引用日期2022-12-29]
