四氫化硅

相對蒸汽密度（g/mL，空氣=1）：1.2

蒸發熱（KJ/mol）：12.5

熔化熱（KJ/mol）：0.67

生成熱（KJ/mol）：32.6

比熱容（KJ/(kg·K)，25℃）：1.335

臨界温度（℃）：-3.5

臨界壓力（MPa）：4.864

溶解性：溶於水，幾乎不溶於乙醇、乙醚、苯、氯仿、硅氯仿和四氯化硅。

臨界體積：151. 5（計算） / 136. 75（實測）cm³/mol。

在室温下，硅烷是一種易燃的氣體，在空氣中，無需外加火源，硅烷就可以自燃。但是有學者認為，硅烷本身是很穩定的，在自然狀態下，是以聚合物的狀態存在的。在超過420攝氏度的環境下，硅烷會分解成硅和氫。因此硅烷可以被用來提純硅。

硅烷在常温常壓下為具有惡臭的無色氣體。在室温下着火，在空氣或鹵素氣體中發生爆炸性燃燒。即使用其它氣體稀釋，如果濃度不夠低．仍能自燃。硅烷在氬氣中含2%、氮氣中含2.5%、氫氣中含1%時，它仍能着火。硅烷濃度在小於1%時不燃，大於3%時自燃，1%～3%時可能燃燒。

SiH₄+2O₂—→SiO₂+2H₂O

燃燒產物為粉狀氧化硅和水，火焰温度較低，在氬氣中含3%硅烷時為500～600℃。常温下穩定，在300℃開始分解，600℃時分解加速，1000℃時完全分解成硅和氫。

SiH₄—→Si+2H₂↑

在中性或酸性水中比較穩定，但是在鹼性水溶液中容易分解。

SiH₄+2H₂O—→SiO₂+4H₂↑

SiH₄+2KOH+H₂O—→K₂SiO₃+4H₂↑

硅烷是強還原劑，與重金屬鹵化物激烈反應，與氯、溴發生爆炸性反應，與四氯化碳激烈反應。因此對硅烷不能使用氟里昂滅火劑。硅烷不溶於乙醇、乙醚、苯、氯仿和四氯化硅。不與潤滑油、脂肪反應。對幾乎所有的金屬無腐蝕性。有時，玻璃中的鹼成分也能分解硅烷。溶解在二硫化碳中的硅烷遇到空氣也可發生爆炸。

在反應瓶和加料漏斗裏分別裝入1.14g LiAlH₄於70mL乙醚中的溶液和2.30mL SiCl₄於50mL乙醚中的圖硅烷的製備裝置溶液。在整個合成過程中，把冷浴和指型冷卻管分別保持在-15～-20℃和-78.5℃。將儀器抽空後，乙醚開始迴流，此時必須要注意避免過多的驟沸。然後，將靠近反應裝置的U形管接收器冷卻到-95℃（用甲苯凍膏），其餘四個接收器冷卻到-196℃（液氮）。在攪拌下，用15min將SiCl4⁺乙醚溶液加入到LiAlH₄懸浮液中。為了避免乙醚劇烈迴流，使甲硅烷連續地以中等速度分出。調節反應器和真空管路之間的玻璃活塞便可以容易地控制反應速度。將SiCl₄加完後，繼續攪拌15～20min，以保證反應完全。在此期間，將反應器和真空系統切斷以免乙醚逃逸過多。當甲硅烷從真空系統排淨之後，將空氣通入反應器，拆開真空系統。

從液氮冷卻的接收器中取出分離物（甲硅烷及痕量乙醚），集中到一起，將-95℃接收器接收的物料放掉（主要為乙醚）。為了除去痕量的乙醚，最好在-130℃的接收器通過5次（用戊烷冷卻），而收集在-196℃接收器中，純甲硅烷的收率為SiCl₄的80%。雜質有氯化氫，此氯化氫，以-160℃接收器來代替-130℃接收器，幾乎可以完全除去。最後殘餘的痕量氯化氫，用水或濕的1，2-二甲氧基乙烷處理之後，通過-130℃接收器可以除去。 ^[3] 

1、電子工業用作氮化硅、外延材料等的摻雜源。半導體超純硅原料，是半導體工業中單晶硅、多晶硅外延片以及二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃等化學氣相沉積工藝的硅源，並廣泛用於太陽能電池、硅複印機鼓、光電傳感器、光導纖維及特種玻璃等的生產研製。

2、用於電子工業中多晶硅和單晶硅外延澱積、二氧化硅的低温化學氣相沉積、非晶硅薄膜澱積。 ^[3] 

一、健康危害

侵入途徑：吸入。

健康危害：吸入甲硅烷蒸氣後，引起頭痛、頭暈、發熱、噁心、多汗；嚴重者面色蒼白，脈搏微弱，陷入半昏迷狀態。

二、毒理學資料及環境行為

急性毒性：LC509600ppm，4小時（大鼠吸入）

危險特性：遇明火、高熱極易燃燒。暴露在空氣中能自燃。與氟、氯等能發生劇烈的化學反應。

燃燒（分解）產物：氧化硅、氫氣。

一、泄漏應急處理

迅速撤離泄漏污染區人員至上風處，並隔離直至氣體散盡，切斷火源。建議應急處理人員戴自給式呼吸器，穿一般消防防護服。切斷氣源，噴灑霧狀水稀釋，抽排（室內）或強力通風（室外）。如有可能，將殘餘氣或漏出氣用排風機送至水洗塔或與塔相連的通風櫥內。漏氣容器不能再用，且要經過技術處理以清除可能剩下的氣體。

二、防護措施

呼吸系統防護：空氣中濃度超標時，應該佩帶防毒口罩。必要時佩帶自給式呼吸器。

眼睛防護：一般不需要特殊防護，高濃度接觸時可戴安全防護眼鏡。

身體防護：穿工作服。

手防護：一般不需要特殊防護。

其它：工作現場嚴禁吸煙。進入罐或其它高濃度區作業，須有人監護。

三、急救措施

吸入：脱離現場至空氣新鮮處。保持呼吸道通暢。必要時進行人工呼吸。就醫。

滅火方法：切斷氣源。若不能立即切斷氣源，則不允許熄滅正在燃燒的氣體。噴水冷卻容器，可能的話將容器從火場移至空曠處。二氧化碳。

1、 疏水參數計算參考值（XlogP）：無

2、 氫鍵供體數量：6

3、 氫鍵受體數量：6

4、 可旋轉化學鍵數量：0

5、 互變異構體數量：無

6、 拓撲分子極性表面積（TPSA）：121

7、 重原子數量：7

8、 表面電荷：0

9、 複雜度：62.7

10、 同位素原子數量：0

11、 確定原子立構中心數量：0

12、 不確定原子立構中心數量：0

13、 確定化學鍵立構中心數量：0

14、 不確定化學鍵立構中心數量：0

15、 共價鍵單元數量：1 ^[3]