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單片集成電路

鎖定
單片集成電路是獨立實現單元電路功能，不需外接元器件的集成電路。要實現單片集成，需要解決一些不易微小型化的電阻、電容元件和功率器件的集成，以及各元件在電路性能上互相隔離的問題。
中文名
單片集成電路
外文名
monolithic integration
關鍵詞
信息科學
工    藝
超大規模集成電路

目錄

  1. 1 基本信息
  2. 2 關鍵詞
  3. 3 工藝

單片集成電路基本信息

名稱: 單片集成電路 （monolithic integration）

單片集成電路關鍵詞

主題詞或關鍵詞: 信息科學 砷化鎵 集成電路

單片集成電路工藝

電片集成 電片集成
單片集成電路從小、中規模發展到大規模、超大規模集成電路，使平面工藝得到相應的發展。如摻雜技術由擴散改為離子注入，常規紫外光刻發展到電子束曝光、等離子體刻蝕和反應離子銑，常規氣相外延改為超高真空分子束外延，採用化學氣相沉積製造二氧化硅和多晶硅膜等。單片集成電路除向更高集成度發展外，也正向着線性、大功率、高頻電路和模擬電路方向發展。