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https://baike.baidu.hk/item/吸除/9094669
吸除
鎖定
使晶片中有害雜質固定在遠離器件有源區,以獲得表面潔淨區的工藝。
中文名稱
吸除
英文名稱
gettering
定 義
使晶片中有害雜質固定在遠離器件有源區,以獲得表面潔淨區的工藝。
應用學科
材料科學技術(一級學科),半導體材料(二級學科),元素半導體材料(三級學科)
以上內容由
全國科學技術名詞審定委員會
審定公佈
中文名
吸除
外文名
gettering
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歷史版本
最近更新:
yl201317
(2022-06-07)
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