複製鏈接
請複製以下鏈接發送給好友

吳漢明

(中國工程院院士、微電子工藝技術專家)

鎖定
吳漢明,1952年6月出生,微電子工藝技術專家,中國工程院院士,中芯國際集成電路製造有限公司技術研發副總裁,燦芯創智微電子技術(北京)有限公司總裁 [1]  ,湖北大學微電子學院名譽院長 [2]  ,浙江大學集成電路學院院長 [20]  ,浙江大學紹興研究院戰略諮詢委員會委員。
1987年吳漢明從中國科學院力學研究所博士畢業後先到美國得克薩斯大學奧斯汀分校加利福尼亞大學伯克利分校進行博士後研究;1993年歸國後回到中國科學院力學研究所工作;1994年被破格提升為研究員;1995年到美國阿拉巴馬一家公司工作;1999年加盟英特爾並但擔任主任工程師;2001年進入中芯國際集成電路製造(北京)有限公司,擔任技術總監;2013年被評為北京市首批“北京學者”;2014年被評為第五屆全國傑出專業技術人才;2019年當選中國工程院院士 [3] 
吳漢明組織推動中國國內設計公司產品在中芯國際製造,主持和參與了中國130-22納米工藝技術研發 [4] 
中文名
吳漢明
國    籍
中國
出生日期
1952年06月
畢業院校
中國科學院力學研究所
職    業
科研工作者
主要成就
2019年當選中國工程院院士

吳漢明人物經歷

吳漢明
吳漢明(6張)
1952年6月,吳漢明出生,初中還沒念完就遇到文革下鄉種地。
1976年,從中國科學技術大學畢業。
1978年,成為“文革”後第一批碩士研究生。
1987年,從中國科學院力學研究所畢業,獲得等離子體和磁流體力學博士學位;博士畢業後先到美國得克薩斯大學奧斯汀分校和加利福尼亞大學伯克利分校進行博士後研究,同時在加州諾發公司和英特爾公司任高級研發工程師。
1993年,歸國後晉升為中國科學院力學研究所工作。
1994年,被破格提升為研究員。
1995年,到美國阿拉巴馬一家公司工作,兩年便研發出世界第一套可商業化的等離子體工藝模擬的軟件。
1999年,加盟英特爾,成為主任工程師 [5] 
2001年,進入中芯國際集成電路製造(北京)有限公司,擔任技術總監 [6] 
2010年,被選為中國國際半導體技術年會(CSTIC 2010)大會主席 [1] 
2011年,被推薦為中國工程院院士正式候選人 [7] 
2013年,被評為北京市首批“北京學者”。
2015年,進入中國工程院院士增選第二輪評選 [8] 
2019年11月22日,當選中國工程院院士 [3] 
2020年11月6日,受聘為湖北大學微電子學院名譽院長。 [2] 
2023年3月28日,受聘為浙江大學紹興研究院戰略諮詢委員會 [19] 
2024年1月,任浙江大學集成電路學院院長。 [20] 

吳漢明主要成就

吳漢明科研成就

  • 科研綜述
吳漢明研發高密度等離子體刻蝕,研究理論和實驗結果表明其等離子體密度達到深亞微米刻蝕的要求,研究結果申報了國家發明專利,發表在國際專業期刊雜誌上並得到廣泛引用。研發了世界上第一套可以進行等離子體工藝模擬的商業軟件並得到廣泛使用。2001年進入中芯國際集成電路製造(北京)有限公司後,組建了先進刻蝕技術工藝部,領導了0.13微米刻蝕工藝,在中國實現了用於大生產的雙鑲嵌法制備工藝,為中國首次實現銅互連提供了工藝基礎 [9] 
  • 論著專利
截至2014年10月,吳漢明在中國國內外主流刊物和會議上發表論文100多篇;申報發明專利84項,其中24項是國際專利 [10] 
  • 承擔項目
項目名稱
項目來源,擔任職務
65-45-32納米CMOS產品成套工藝和產業化
國家十一五02重大專項,項目總負責人 [9] 
32/28納米CMOS成套產品工藝和產業化
國家十二五重大專項,項目首席科學家
納米磁性自旋存儲器和半導體硅量子點存儲器的研製及其器件物理研究
國家973項目,首席科學家 [1] 
高密佈電感等離子體刻蝕機研發
國家863項目,參與
  • 科研成果獎勵
獲獎時間
項目名稱
獎勵名稱
2008年
90納米-65納米極大規模集成電路大生產關鍵技術研究
國家科技進步二等獎(第二完成人) [11] 
2013年
超大規模集成電路65-40納米成套產品工藝研發與產業化
國家科技進步二等獎(第一完成人) [12] 

吳漢明人才培養

  • 講座報告
2014年6月,吳漢明應河北工業大學信息工程學院微電子技術與材料研究所邀請,對河北工業大學進行訪問交流,在北辰校區信息工程學院報告廳做了題為《集成電路技術與產業介紹》的學術報告 [13] 
  • 團隊建設
吳漢明注重人才培養,在他的工作室裏,有一批博士和碩士畢業生。作為公司的技術研發副總裁,他除了要求下屬完成工作任務外,還不斷鼓勵他們更多地進行先進工藝的研究。吳漢明沒有把能力當成私房秘籍,而是公開地和下屬分享,如果下屬在做先進研發時遇到瓶頸,無論多忙,他都會給予幫助,上下級的關係變得更像是師生關係 [4] 

吳漢明榮譽表彰

時間
榮譽表彰
授予單位
2014年9月
第五屆全國傑出專業技術人才
中央組織部、中央宣傳部、人力資源社會保障部、科技部 [14] 
2019年11月22日
中國工程院院士

吳漢明社會任職

時間
擔任職務
2010年
北京市經濟開發區首批特聘專家
2012年11月
北京市第十四屆人民代表大會代表 [15] 
2014年06月
河北工業大學榮譽教授 [13] 
2019年12月20日
全國集成電路“創業之芯”大賽專委會成員 [16] 

北京大學軟件與微電子學院集成電路與智能系統繫系主任 [17] 
2022年8月11日
中芯國際獨立非執行董事、董事會提名委員會成員及戰略委員會成員 [18] 
2023年3月28日
為浙江大學紹興研究院戰略諮詢委員會 [19] 

吳漢明人物評價

吳漢明開創了高端集成電路產品中國國內設計和製造的先河 [4] (光明網評)
吳漢明把個人的喜怒哀樂和中國芯片事業的發展緊緊捆綁在了一起,對中國芯片事業發展做出了的貢獻 [6] (《科技日報》評)
吳漢明十分熱心地參加為貧困居民救助捐款等公益活動。他義務參加了由北京經濟開發區策劃的“集成電路製造技術發展”的科普影視片拍攝,向全社會普及集成電路的常識,為提高全民科學素質和科學知識努力貢獻自己的力量 [9] (《 人民日報海外版 》評)
參考資料
展開全部 收起