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吳漢明
(中國工程院院士、微電子工藝技術專家)
鎖定
吳漢明,1952年6月出生,微電子工藝技術專家,中國工程院院士,中芯國際集成電路製造有限公司技術研發副總裁,燦芯創智微電子技術(北京)有限公司總裁
[1]
,湖北大學微電子學院名譽院長
[2]
,浙江大學集成電路學院院長
[20]
,浙江大學紹興研究院戰略諮詢委員會委員。
1987年吳漢明從中國科學院力學研究所博士畢業後先到美國得克薩斯大學奧斯汀分校和加利福尼亞大學伯克利分校進行博士後研究;1993年歸國後回到中國科學院力學研究所工作;1994年被破格提升為研究員;1995年到美國阿拉巴馬一家公司工作;1999年加盟英特爾並但擔任主任工程師;2001年進入中芯國際集成電路製造(北京)有限公司,擔任技術總監;2013年被評為北京市首批“北京學者”;2014年被評為第五屆全國傑出專業技術人才;2019年當選中國工程院院士
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- 中文名
- 吳漢明
- 國 籍
- 中國
- 出生日期
- 1952年06月
- 畢業院校
- 中國科學院力學研究所
- 職 業
- 科研工作者
- 主要成就
- 2019年當選中國工程院院士
吳漢明人物經歷
吳漢明(6張)
1976年,從中國科學技術大學畢業。
1978年,成為“文革”後第一批碩士研究生。
1987年,從中國科學院力學研究所畢業,獲得等離子體和磁流體力學博士學位;博士畢業後先到美國得克薩斯大學奧斯汀分校和加利福尼亞大學伯克利分校進行博士後研究,同時在加州諾發公司和英特爾公司任高級研發工程師。
1993年,歸國後晉升為中國科學院力學研究所工作。
1994年,被破格提升為研究員。
1995年,到美國阿拉巴馬一家公司工作,兩年便研發出世界第一套可商業化的等離子體工藝模擬的軟件。
2013年,被評為北京市首批“北京學者”。
吳漢明主要成就
吳漢明科研成就
- 科研綜述
吳漢明研發高密度等離子體刻蝕,研究理論和實驗結果表明其等離子體密度達到深亞微米刻蝕的要求,研究結果申報了國家發明專利,發表在國際專業期刊雜誌上並得到廣泛引用。研發了世界上第一套可以進行等離子體工藝模擬的商業軟件並得到廣泛使用。2001年進入中芯國際集成電路製造(北京)有限公司後,組建了先進刻蝕技術工藝部,領導了0.13微米刻蝕工藝,在中國實現了用於大生產的雙鑲嵌法制備工藝,為中國首次實現銅互連提供了工藝基礎
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- 論著專利
- 承擔項目
項目名稱 | 項目來源,擔任職務 |
---|---|
65-45-32納米CMOS產品成套工藝和產業化 | |
32/28納米CMOS成套產品工藝和產業化 | 國家十二五重大專項,項目首席科學家 |
納米磁性自旋存儲器和半導體硅量子點存儲器的研製及其器件物理研究 | |
高密佈電感等離子體刻蝕機研發 | 國家863項目,參與 |
- 科研成果獎勵
獲獎時間 | 項目名稱 | 獎勵名稱 |
---|---|---|
2008年 | 90納米-65納米極大規模集成電路大生產關鍵技術研究 | |
2013年 | 超大規模集成電路65-40納米成套產品工藝研發與產業化 |
吳漢明人才培養
- 講座報告
2014年6月,吳漢明應河北工業大學信息工程學院微電子技術與材料研究所邀請,對河北工業大學進行訪問交流,在北辰校區信息工程學院報告廳做了題為《集成電路技術與產業介紹》的學術報告
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- 團隊建設
吳漢明注重人才培養,在他的工作室裏,有一批博士和碩士畢業生。作為公司的技術研發副總裁,他除了要求下屬完成工作任務外,還不斷鼓勵他們更多地進行先進工藝的研究。吳漢明沒有把能力當成私房秘籍,而是公開地和下屬分享,如果下屬在做先進研發時遇到瓶頸,無論多忙,他都會給予幫助,上下級的關係變得更像是師生關係
[4]
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吳漢明榮譽表彰
時間 | 榮譽表彰 | 授予單位 |
---|---|---|
2014年9月 | 第五屆全國傑出專業技術人才 | |
2019年11月22日 | 中國工程院院士 | 中國工程院
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吳漢明社會任職
時間 | 擔任職務 |
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2010年 | 北京市經濟開發區首批特聘專家 |
2012年11月 | |
2014年06月 | 河北工業大學榮譽教授
[13]
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2019年12月20日 | |
北京大學軟件與微電子學院集成電路與智能系統繫系主任
[17]
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2022年8月11日 | |
2023年3月28日 |
吳漢明人物評價
吳漢明十分熱心地參加為貧困居民救助捐款等公益活動。他義務參加了由北京經濟開發區策劃的“集成電路製造技術發展”的科普影視片拍攝,向全社會普及集成電路的常識,為提高全民科學素質和科學知識努力貢獻自己的力量
[9]
。(《 人民日報海外版 》評)
- 參考資料
-
- 1. 燦芯半導體(上海)有限公司 .燦芯半導體(上海)有限公司[引用日期2019-12-19]
- 2. 湖大成立四個新工科學院,與小米等17家企業簽署共建協議,還有騰訊“訂單班” .荊楚網-湖北日報網[引用日期2020-11-06]
- 3. 中國工程院2019年院士增選結果 .中國工程院網站[引用日期2019-11-22]
- 4. 吳漢明:只為中國芯的騰飛 .光明網[引用日期2019-12-18]
- 5. 吳漢明:集成產業中芯剪影 ——記中芯國際技術研發副總裁吳漢明博士及其團隊 .科學中國人.2014-06-19[引用日期2019-11-26]
- 6. 吳漢明:為了“中國芯”的夢想 .中國科學技術大學.2014-10-11[引用日期2019-11-26]
- 7. 吳漢明:民企“芯”院士 .北京經濟技術開發區.2019年11月26日 [引用日期2019-12-19]
- 8. 中國工程院2015年院士增選進入第二輪評審的候選人名單 .中國工程院[引用日期2015-06-13]
- 9. 人民日報海外版:吳漢明:集成電路產業排頭兵 .中國科學技術大學.2014-10-30[引用日期2019-11-26]
- 10. 吳漢明 一心為了“中國芯”(全國傑出專業技術人才) .人民網.2014年10月09日[引用日期2019-12-18]
- 11. 2008年度國家科學技術進步獎獲獎項目 .中華人民共和國科學技術部.2009年01月09日[引用日期2019-12-18]
- 12. 2013年度國家科學技術進步獎獲獎項目 .中華人民共和國科學技術部[引用日期2019-12-18]
- 13. 許居衍院士、吳漢明博士來我校訪問交流 .河北工業大學信息工程學院.2014-06-23[引用日期2019-12-18]
- 14. 關於公示第五屆全國傑出專業技術人才和專業技術人才先進集體候選對象的公告 .中華人民共和國人力資源和社會保障部.2014-09-03[引用日期2019-12-18]
- 15. 北京市第十四屆人民代表大會代表名單(771名) .北京市人民代表大會.2012-11-30[引用日期2019-12-18]
- 16. 吳漢明博士加入全國集成電路“創業之芯”大賽專家委員會 .北京智芯國信科技有限公司[引用日期2019-12-18]
- 17. 科系設置> 集成電路與智能系統系> 師資力量 .北京大學軟件與微電子學院[引用日期2019-12-18]
- 18. 中芯國際:趙海軍辭任執行董事職務,仍繼續擔任聯合首席執行官 .界面新聞.2022-08-11[引用日期2022-08-11]
- 19. 浙江大學紹興研究院戰略諮詢委員會聘任儀式暨第一次會議在越城舉行 .其他.2023-03-29
- 20. 浙大成立集成電路學院,微電子學院撤銷 .百家號.2024-01-18
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