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https://baike.baidu.hk/item/可再現性/23782363
可再現性
鎖定
在一定
時間週期
內,在改變測量條件下,依次對同一個被測量圖形進行測量所得到的平均測量值變化
[1]
。
中文名
可再現性
外文名
reproducibility
測量
條件是指:測量
原理
、測量方法、測量
儀表
、
參考標準
、場地和觀測者等。測量圖形時的步驟,每次按照相同的裝片、晶片對準、工作台移動到測量位置、定位測量圖形、測量及卸片等操作過程所獲得的圖形寬度測量值應
吻合
一致
[1]
。
參考資料
1.
超大規模集成電路先進光刻理論與應用
.百度學術
.2016
[引用日期2019-09-30]
圖集
可再現性的概述圖(1張)
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歷史版本
最近更新:
一碗加糖饭
(2024-05-21)
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