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https://baike.baidu.hk/item/反應濺射/4722769
反應濺射
鎖定
反應濺射是指在存在反應氣體的情況下,濺射靶材時,靶材會與反應氣體反應形成化合物(如氮化物或氧化物),在惰性氣體濺射化合物靶材時由於化學不穩定性往往導致薄膜較靶材少一個或更多組分,此時如果加上反應氣體可以補償所缺少的組分,這種濺射也可以視為反應濺射。
中文名
反應濺射
屬 性
因為化學不穩定性而造成的一種化學反應
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歷史版本
最近更新:
kkfeiyun
(2023-07-03)
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