反射式高能電子衍射

反射式高能電子衍射(RHEED)。RHEED也能以與LEED相當的靈敏度檢測表面結構。

反射式高能電子衍射是一種研究晶體外延生長、精確測定表面結晶狀態以及表面氧化、還原過程等的有效分析手段。近年來，由於接收系統的改進，在多功能表面分析儀中RHEED和LEED都能進行,使表面結構的研究更為方便。