半導體化合物光電器件製備

本系列叢書分為《半導體化合物光電原理》、《半導體化合物光電器件製備》、《半導體化合物光電器件檢測》三部分。本書從ⅢAⅤA族半導體化合物的基本原理、光電器件製備與工藝以及器件性能檢測等方面，較系統地介紹了相關基礎知識，適合材料、物理化學、光學、微電子學與固體電子學等專業的本科生和研究生以及工程技術人員和企業相關人員閲讀。 ^[1] 

第1章LED外延片1

1.1LED外延片的基本概念1

1.1.1外延片的概念1

1.1.2LED外延生長的概念、分類1

1.1.3LED外延工藝技術2

1.1.4MOCVD外延片製備的工藝流程9

1.2LED襯底材料9

1.2.1LED襯底材料的選擇依據9

1.2.2LED襯底材料的種類10

1.3LED外延片源材料14

1.3.1MOCVD對源材料的要求14

1.3.2紅黃光LED外延片的MO源14

1.3.3藍綠光LED外延片的MO源15

1.4MOCVD設備16

1.4.1MOCVD設備概述16

1.4.2氣體供應系統17

1.4.3MOCVD反應室17

1.4.4控制系統21

1.4.5尾氣處理系統22

1.4.6Veeco TurboDisc K465i GaN MOCVD設備22

1.5LED外延片MOCVD工藝68

1.5.1紅黃光LED外延片的MOCVD工藝68

1.5.2藍綠光LED外延片的MOCVD工藝68

1.5.3外延技術的發展趨勢72

1.6外延片的檢測73

1.6.1結構測試73

1.6.2LED外延片的光學性能測試74

1.6.3LED外延片的電學性能測試80

參考文獻81

第2章LED芯片製備83

2.1引言83

2.2芯片製造工藝85

2.2.1清洗85

2.2.2ITO透明電極87

2.2.3光刻技術91

2.2.4刻蝕97

2.2.5氮化硅生長101

2.2.6擴散102

2.2.7歐姆接觸104

2.2.8表面粗化108

2.2.9光子晶體111

2.2.10激光剝離(Laser Liffoff,LLO)117

2.2.11倒裝芯片技術118

2.2.12垂直結構芯片技術118

2.2.13化學機械拋光118

2.2.14芯片的切割與分離120

2.2.15芯片分檢入庫121

2.3芯片製作工藝舉例122

2.3.1芯片製備過程中的主要工藝122

2.3.2AlGaInP芯片製作工藝舉例123

2.3.3GaN基大功率LED芯片製作工藝舉例126

參考文獻130

第3章LED芯片封裝131

3.1LED封裝原物料131

3.1.1LED支架131

3.1.2銀膠和絕緣膠132

3.1.3焊線133

3.1.4封裝材料134

3.2LED封裝結構137

3.2.1引腳式封裝137

3.2.2表面貼裝封裝137

3.2.3食人魚封裝138

3.3芯片封裝工藝138

3.3.1封裝生產工藝139

3.3.2封裝設備142

3.3.3各種工藝操作規範144

3.4LED封裝過程常見問題及解決辦法150

3.4.1固晶破裂150

3.4.2膠水問題151

3.4.3氣泡問題152

3.4.4反向漏電流152

3.5大功率和白光LED封裝技術152

3.5.1大功率LED封裝芯片152

3.5.2大功率LED封裝關鍵技術154

3.5.3白光LED封裝技術158

3.5.4大功率和白光LED封裝材料161

參考文獻165

第4章LED器件組裝166

4.1LED器件166

4.1.1LED器件應用166

4.1.2LED器件性能167

4.2LED顯示屏168

4.2.1LED顯示屏的分類168

4.2.2LED顯示屏的製作方法169

4.2.3LED顯示屏的色度處理技術170

4.3LED照明173

4.3.1LED照明系統設計173

4.3.2LED燈具標準175

4.4LED背光源177

4.4.1LED背光源177

4.4.2LED背光模組178

4.4.3LED背光源發展趨勢186

參考文獻188

第5章太陽能電池190

5.1太陽能資源分佈和主要技術利用發展概況190

5.1.1太陽能資源分佈190

5.1.2太陽能的主要利用形式和光伏發電的運行方式192

5.1.3太陽能光伏技術的發展及前景193

5.2太陽能電池的工作原理和基本特性193

5.2.1太陽能電池的工作原理193

5.2.2太陽能電池的基本特性194

5.2.3影響太陽能電池轉換效率的因素196

5.3太陽能電池的分類199

5.4太陽能電池發展存在的問題201

5.5硅太陽能電池202

5.5.1硅材料的製備與選取202

5.5.2單體電池的製造204

5.6太陽能電池組件及封裝212

5.6.1太陽能電池組件的常見結構形式213

5.6.2太陽能電池組件的封裝材料214

5.6.3組件製造工藝214

5.7常見薄膜太陽能電池217

5.7.1硅基薄膜電池217

5.7.2CdS薄膜與Cu2S/CdS太陽能電池227

5.7.3CdS/CuInSe2薄膜太陽能電池228

5.7.4CIGS薄膜太陽能電池231

5.7.5多晶薄膜CdTe材料與CdTe/CdS太陽能電池231

5.7.6砷化鎵(GaAs)薄膜太陽能電池235

5.7.7有機薄膜太陽能電池235

5.7.8染料敏化太陽能電池237

5.7.9 膠體量子點太陽能電池237

5.8太陽能電池的發展趨勢238

參考文獻238 ^[2]