劉澤文

劉澤文, 博士，教授，1960年12月20日出生於安徽肥東，1983年七月年畢業於中國科大物理系。1994年4月赴法國巴黎LURE實驗室從事LIGA技術研究工作，1997年4月獲法國巴黎南大學博士學位。1997－1999在清華大學從事博士後研究工作，進行MEMS技術研究；出站後留清華大學微電子學研究所從事教學和科研工作，曾任微電子所器件室副主任，微電子學研究所副所長等職務。他參與或負責多項重要科研項目，包括國家自然科學基金項目、973項目、985項目，直接負責的過項目總經費近千萬元。曾在國內首次用X射線光刻方法獲得高分辯率特徵線條及厚膠微機械結構，所參與的同步輻射項目獲科學院科技進步一等獎，所建立的厚膠溶解模型多次被國際學者引用。1999年開始在國內率先開展RFMEMS研究工作，研製出多種形式高性能MEMS開關等器件。研究興趣是微電子和微系統工藝技術，RFMEMS，BioMEMS，納米諧振器，集成傳感器等。

1997－1999在清華大學從事博士後研究工作，進行MEMS技術研究；出站後留清華大學微電子學研究所從事教學和科研工作，曾任微電子所器件室副主任，微電子學研究所副所長等職務。他參與或負責多項重要科研項目，包括國家自然科學基金項目、973項目、985項目，直接負責的過項目總經費近千萬元。曾在國內首次用X射線光刻方法獲得高分辯率特徵線條及厚膠微機械結構，所參與的同步輻射項目獲科學院科技進步一等獎，所建立的厚膠溶解模型多次被國際學者引用。

1999年開始在國內率先開展RFMEMS研究工作，研製出多種形式高性能MEMS開關等器件。研究興趣是微電子和微系統工藝技術，RFMEMS，BioMEMS，納米諧振器，集成傳感器等。

現任中國電子學會高級會員，電子學會學術工作委員會委員；《微細加工技術》編委，多次為中國科學院主編的中國科技發展年度報告撰文；是《微系統設計》一書的中文譯者。已經在國際國內學術刊物和重要會議上發表學術論文一百篇以上，其中SCI， EI引用的論文30多篇 。擁有7項國家發明專利，一項歐洲專利

1. 納米諧振器基礎研究（自然科學基金項目）；

2. 面向生物醫學的超靈敏生物檢測系統優化研究（973項目）；

3. RFMEMS開關研究（上海市創新項目）；

4. 納電子和微系統技術（中荷合作項目）。