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剖面分析

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剖面分析是指分析樣品中雜質的剖面分佈特徵。
中文名
剖面分析
定    義
指分析樣品中雜質的剖面分佈特徵
一般可採用離子束分析、全反射x射線熒光分析、同步輻劉X習寸線分析、冷中了活化分析以及瞬發輻射分析等。現已可測定雜質在樣品中的三維分佈特徵。 [1] 
參考資料
  • 1.    化學化工大辭典