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光學掩模版
鎖定
- 中文名
- 光學掩模版
- 外文名
- Mask Reticle
- 別 名
- 光罩
- 簡 稱
- 掩膜版
- 應 用
- IC FPD等
- 製作方法
- 濺鍍法
光學掩模版簡介
光刻掩膜版(又稱光罩,英文為Mask Reticle),簡稱掩膜版,是微納加工技術常用的光刻工藝所使用的圖形母版。由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜圖形結構,再通過曝光過程將圖形信息轉移到產品基片上。
待加工的掩膜版由玻璃/石英基片、鉻層和光刻膠層構成。其圖形結構可通過製版工藝加工獲得,常用加工設備為直寫式光刻設備,如激光直寫光刻機、電子束光刻機等。
掩膜版應用十分廣泛,在涉及光刻工藝的領域都需要使用掩膜版,如IC(Integrated Circuit,集成電路)、FPD(Flat Panel Display,平板顯示器)、PCB(Printed Circuit Boards,印刷電路板)、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems,微機電系統)等。
光學掩模版種類
光學掩模版透明基板
2、透明樹脂
光學掩模版遮光膜
(1)硬質遮光膜:鉻膜氧化鐵硅化鉬硅。
(2)乳膠。
光學掩模版製作方法
濺鍍法(Sputtering):
(1)上平行板:裝載濺鍍金屬的靶材;
下平行板:作為濺鍍對象的玻璃基板。
(2)將氬氣(Ar 2 )通入反應艙中形成等離子體;
氬離子(Ar + )在電場中被加速後衝撞靶材;
受衝擊的靶材原子會沉積在玻璃基板上從而形成薄膜。
光學掩模版工藝過程
1) 繪製生成設備可以識別的掩膜版版圖文件(GDS格式)
2) 使用無掩模光刻機讀取版圖文件,對帶膠的空白掩膜版進行非接觸式曝光(曝光波長405nm),照射掩膜版上所需圖形區域,使該區域的光刻膠(通常為正膠)發生光化學反應
3) 經過顯影、定影后,曝光區域的光刻膠溶解脱落,暴露出下面的鉻層
4) 使用鉻刻蝕液進行濕法刻蝕,將暴露出的鉻層刻蝕掉形成透光區域,而受光刻膠保護的鉻層不會被刻蝕,形成不透光區域。這樣便在掩膜版上形成透光率不同的平面圖形結構。
5) 在有必要的情況下,使用濕法或幹法方式去除掩膜版上的光刻膠層,並對掩膜版進行清洗。