Beta
進入詞條
清除歷史記錄
關閉
反饋
分享
複製鏈接
請複製以下鏈接發送給好友
https://baike.baidu.hk/item/光刻加工/3559438
光刻加工
鎖定
光刻加工在硅等基體材料上塗覆光致抗蝕劑,然後用
極限分辨率
極高的能量束來通過掩模對光致抗蝕劑層進行曝光。
中文名
光刻加工
性 質
加工技術
經顯影后,在光致抗蝕劑層上獲得與掩模圖形相同的及微細的幾何圖形,再利用刻蝕等方法,在工件材料上製造出微型結構。
圖集
光刻加工的概述圖(1張)
詞條統計
瀏覽次數:
次
編輯次數:10次
歷史版本
最近更新:
哪有什么错与对
(2023-09-10)
Beta
進入詞條
清除歷史記錄
關閉
反饋
登錄