複製鏈接
請複製以下鏈接發送給好友

偏振分析儀

鎖定
偏振分析儀是一種用於材料科學領域的電子測量儀器,於2010年03月01日啓用。
中文名
偏振分析儀
產    地
美國
學科領域
材料科學
啓用日期
2010年03月01日
所屬類別
電子測量儀器 > 通用電子測量儀器 > 頻譜分析儀

偏振分析儀技術指標

可以實現從500nm到1500nm波長範圍的快速精確橢偏測量。厚度範圍從1nm到2um,入射角從0°到90°可調,採用氙燈光源。採用專用的光譜橢偏測量軟件。 [1] 

偏振分析儀主要功能

VB-400 Vase Ellispometer橢偏儀是JA.WollamCO.,Inc公司生產的一套高性能光譜測量儀,可測量單層與多層膜、界面、極薄與極厚膜的厚度與光學參數。厚度範圍從1nm到2um,入射角從0°到90°可調,採用氙燈光源,光譜分辨率1.5nm。採用專用的光譜橢偏測量軟件。 [1] 
參考資料