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偏振分析儀
鎖定
偏振分析儀是一種用於材料科學領域的電子測量儀器,於2010年03月01日啓用。
- 中文名
- 偏振分析儀
- 產 地
- 美國
- 學科領域
- 材料科學
- 啓用日期
- 2010年03月01日
- 所屬類別
- 電子測量儀器 > 通用電子測量儀器 > 頻譜分析儀
偏振分析儀技術指標
偏振分析儀主要功能
VB-400 Vase Ellispometer橢偏儀是JA.WollamCO.,Inc公司生產的一套高性能光譜測量儀,可測量單層與多層膜、界面、極薄與極厚膜的厚度與光學參數。厚度範圍從1nm到2um,入射角從0°到90°可調,採用氙燈光源,光譜分辨率1.5nm。採用專用的光譜橢偏測量軟件。
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- 參考資料
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- 1. 偏振分析儀 .國家科技基礎條件平台中心[引用日期2020-11-16]