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偏壓電源
鎖定
偏壓電源(Bias power supply )是真空電弧離子鍍及其它真空物理氣相沉積設備中一個重要組件,在鍍膜工藝流程中為工件提供負(或正)偏壓。
- 中文名
- 偏壓電源
- 外文名
- Bias power supply
- 定 義
- 真空電弧離子鍍
- 應 用
- 在鍍膜工藝中為工件提供負偏壓
偏壓電源作用
1)提高真空等離子體內帶電粒子的能量,轟擊清洗所鍍工件表面,使工件表面經受高能粒子撞擊後得到嶄新的表層,從而提高後續沉積膜層的結合力
2)提高並控制真空等離子體內帶電粒子的能量,提高膜層與工件基體結合力
3)靠不同的電壓輸出極性或方式改變沉積規則,調整膜層顏色
4)克服偏壓電源工作於真空等離子體環境中,由高電壓引起的陰極弧光放電燒傷工件
偏壓電源技術説明
偏壓電源工作於二級高頻變換模式,單極脈衝方式輸出。電源的電壓調整通過改變高頻變換電路的電源電壓來實現,調壓電路具有1%的穩率。高頻變換電路產生10-90%脈衝電壓。由於電源的輸出電壓與脈衝寬度獨立調整,在滿足工藝所需電壓同時,通過改變脈衝寬度來控工件温升。電源適用於各類工具鍍膜及裝飾鍍膜 。
電源功率範圍 | 10-80KW |
輸入電源 | AC380V三相四線制AC50-60HZ±10% |
輸出方式 | 脈衝 |
輸出電壓 | 0-180V 0-500V 0-1000V |
脈衝頻率 | 40KHZ |
脈衝百分比 | 10-90%連續調節 |
輸出電壓穩定率 | 預前穩壓,負載電壓10% |
冷卻方式 | 10-40KW風冷 40-80KW水冷 |
使用環境 | 環境温度 0-40℃ 環境濕度 相對濕度≤85% 空氣清潔 無粉塵 無腐蝕性易燃性氣體 通風良好 |
冷卻水 | 清潔 不含礦物質及其他可溶性物質 水温 20-30℃ 壓力 0.15±0.05Mpa |
説明:電源的輸出特性可根據使用需要作相應調整 |
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