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偏壓電源

鎖定
偏壓電源(Bias power supply )是真空電弧離子鍍及其它真空物理氣相沉積設備中一個重要組件,在鍍膜工藝流程中為工件提供負(或正)偏壓。
中文名
偏壓電源
外文名
Bias power supply
定    義
真空電弧離子鍍
應    用
在鍍膜工藝中為工件提供負偏壓

目錄

偏壓電源作用

1)提高真空等離子體內帶電粒子的能量,轟擊清洗所鍍工件表面,使工件表面經受高能粒子撞擊後得到嶄新的表層,從而提高後續沉積膜層的結合力
2)提高並控制真空等離子體內帶電粒子的能量,提高膜層與工件基體結合力
3)靠不同的電壓輸出極性或方式改變沉積規則,調整膜層顏色
4)克服偏壓電源工作於真空等離子體環境中,由高電壓引起的陰極弧光放電燒傷工件

偏壓電源技術説明

偏壓電源 偏壓電源
偏壓電源工作於二級高頻變換模式,單極脈衝方式輸出。電源的電壓調整通過改變高頻變換電路的電源電壓來實現,調壓電路具有1%的穩率。高頻變換電路產生10-90%脈衝電壓。由於電源的輸出電壓與脈衝寬度獨立調整,在滿足工藝所需電壓同時,通過改變脈衝寬度來控工件温升。電源適用於各類工具鍍膜及裝飾鍍膜 。
電源功率範圍
10-80KW
輸入電源
AC380V三相四線制AC50-60HZ±10%
輸出方式
脈衝
輸出電壓
0-180V 0-500V 0-1000V
脈衝頻率
40KHZ
脈衝百分比
10-90%連續調節
輸出電壓穩定率
預前穩壓,負載電壓10%
冷卻方式
10-40KW風冷 40-80KW水冷
使用環境
環境温度 0-40℃
環境濕度 相對濕度≤85%
空氣清潔 無粉塵 無腐蝕性易燃性氣體 通風良好
冷卻水
清潔 不含礦物質及其他可溶性物質
水温 20-30℃
壓力 0.15±0.05Mpa
説明:電源的輸出特性可根據使用需要作相應調整