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https://baike.baidu.hk/item/二次離子質譜/1848566
二次離子質譜
鎖定
二次離子質譜(secondary ion mass spectroscopy),是一種非常靈敏的表面成份精密分析儀器,它是通過高能量的一次
離子束
轟擊樣品表面,使樣品表面的分子吸收能量而從表面發生濺射產生二次離子,通過
質量分析器
收集、分析這些二次離子,就可以得到關於樣品表面信息的圖譜。
中文名
二次離子質譜
外文名
secondary ion mass spectroscopy
別 名
次級離子質譜
離子探針
原 理
用一次離子束轟擊表面
目錄
1
分析原理
2
特點介紹
3
應用
二次離子質譜
分析原理
二次離子質譜
用一次
離子束
轟擊表面,將樣品表面的原子濺射出來成為帶電的離子,然後
飛行時間
或者
磁偏轉
質譜儀
分析
離子
的荷/質比,便可知道表面的成份;
二次離子質譜
特點介紹
它是一種非常靈敏的
表面成份分析
手段,對某些元素可達到ppm量級;但由於各種元素的二次離子差額值相差非常大,作
定量分析非常困難。
二次離子質譜
應用
二次離子質譜儀
,是最前沿的
表面分析技術
。二次離子質譜儀揭示了真正表面和近表面原子層的化學組成,其
信息量
也遠遠超過了簡單的
元素分析
,可以用於鑑定有機成分的
分子結構
。二次離子質譜儀廣泛應用於微電子技術、化學技術、
納米技術
以及
生命科學
之中,它可以在數秒內對錶面的局部區域進行掃描和分析,生成一個表面成分圖。
圖集
二次離子質譜的概述圖(2張)
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歷史版本
最近更新:
Mg45jq4
(2023-02-27)
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