上海至純潔淨系統科技股份有限公司

上海至純潔淨系統科技股份有限公司於2000年11月13日在上海市工商局登記成立。法定代表人蔣淵。

2017年，公司佈局濕法設備事業部。濕法設備2018年訂單達1億，2019年接近2億，2020年達5.3億。 ^[1]  至純科技提供的濕法設備包含濕法槽式清洗設備及濕法單片式清洗設備，主要應用於集成電路、微機電系統、平板顯示等領域。 ^[4] 

2018年至純科技收購波匯科技100%股權進入光傳感領域。 ^[6] 

2020年，至純科技單片濕法設備和槽式濕法設備全年出機超過了30台，較2019年增長50%。同時單片式濕法設備新增訂單金額超過3.6億元，同比增長112%。產品覆蓋28nm以上全部製程節點。 ^[5] 

2021年，至純科技單片濕法設備和槽式濕法設備出機超97台；12英寸濕法設備新增訂單金額超過6億元，其中單片式濕法設備新增訂單金額超過3.8億元。 ^[8] 

2022年，至純科技在合肥佈局的晶圓再生及部件清洗項目已通線試產，是國內首條投產的12寸晶圓再生產線，部件清洗項目為國內首條設立完整的陽極產線。 ^[9] 

2024年6月2日消息，據公開信息顯示，上海至純潔淨系統科技股份有限公司發生工商變更，公司註冊資本由38576.188900萬人民幣元變為38671.7770萬人民幣元。 ^[17] 

公司經營範圍包括從事電子、光纖、生物工程及環保科技專業領域內的技術開發等。

2010年，至純科技被認定為高新技術企業；2010年，至純科技被評選為“上海市科技小巨人培育企業”；2012年，至純被評選為“創新型企業”；2012年，公司被評選為“2011年上海市民營科技綜合百強企業”；2012年，企業通過了ISO9000、ISO14001:2004及OHSAS18001認證； 2014年，公司被上海市促進中小企業發展協調辦公室評選為“上海市專精特新中小企業” ；2015年，公司被上海市合同信用促進會評選為“2013-2014年度上海市守合同重信用企業”。 ^[11] 

2023年，至純科技董事長蔣淵獲得第六屆“上海市優秀中國特色社會主義事業建設者”稱號 ^[14]  和2022年度“閔行區優秀企業家”稱號 ^[15]  。