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類金剛石膜
鎖定
- 中文名
- 類金剛石膜
- 外文名
- diamond-like carbon film,DLC film
- 主要組成
- 碳
- 適用領域
- 機械、電子、光學、熱學、聲學、醫學
類金剛石膜簡介
類金剛石碳(DLC)是非晶結構,碳原子主要以sp3和sp2雜化鍵結合。碳元素因碳原子和碳原子之間的不同結合方式,從而使其最終產生不同的物質:金剛石(diamond)中碳碳以sp3鍵的形式結合;石墨(graphite)中碳碳以sp2鍵的形式結合;類金剛石(DLC)膜中,碳碳則是以sp3和sp2鍵的形式結合,生成的無定形碳的一種亞穩定形態,可以包括很寬性質範圍的非晶碳,因此兼具了金剛石和石墨的優良特性。
類金剛石膜分類
類金剛石膜可分為無氫類金剛石碳膜(a-C)和含氫金剛石碳膜(a-C:H)。在含氫的DLC膜中存在一定數量的C-H鍵。含氫DLC又稱為α-C:H,由於其具有良好的減摩耐磨作用,在摩擦副固體表面改性方面廣泛應用。無氫類金剛石膜包括無氫非晶碳(α-C)和四面體非晶碳(tetrahedral carbon,簡稱ta-C)膜。α-C膜含有一些sp3鍵;ta-C膜中以sp3鍵為主(sp3>70%),其具有強度高的特點,其可用於半導體器件、計算機硬盤、摩擦副表面改性、零部件表面改性等。
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