配氣裝置

依據比例自行設置混合輸出的裝置。主要核心部件為質量流量控制器，利用其高精度、高準確性的特點，精確控制各個氣體組成成分的輸入量，經由專業設計及生產的混氣腔室後輸出。

國內生產配氣裝置的廠商很多。各個水平也參差不齊。技術實力比較好的有：七星華創、 彼奧德、忠實易達、金鱗博泰等幾家。