精濾

它是用微濾膜把水中的微小雜質顆粒濾除。電子、半導體及集成電路生產中對水的微粒含量要求很嚴格，因此常用微濾對高純水進行深度處理。微濾膜是用纖維素或高分子材料製成的，孔徑一般為20納米至十幾微米，能夠濾除微米級（1微米=10負6次米）或納米級（1納米=10負9次米）的雜質微粒和大多數細菌。常用的微濾膜有醋酸纖維素濾膜、混合纖維酯濾膜，硝酸纖維素濾膜、聚酰胺濾膜及聚四氟乙烯濾膜等。