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https://baike.baidu.hk/item/勻膠鉻版/5927051
勻膠鉻版
鎖定
《勻膠鉻版》是一種硬麪光掩模材料,即
光掩膜基版
,它是當前及未來微細加工光掩膜製作的主流
感光材料
(相當於照相用的感光膠捲)。
中文名
勻膠鉻版
別 名
光掩膜基版
類 型
硬麪光掩模材料
它是在平整的、高光潔度的玻璃基版上通過直流磁控濺射(SP)沉積上氮化鉻-氮氧化鉻薄膜而形成鉻膜基版,再在其上塗敷一層光致抗蝕劑(又稱光刻膠)或電子束抗蝕劑製成勻膠鉻版。
勻膠鉻版具有高的感光靈敏度、高分辨率、低缺陷密度、耐磨性好、易清潔處理、使用壽命長等特點,當前被廣泛應用於IC、LCD、PCB、PDP、DOT等產品掩膜版的製作。
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体讲科学基础
(2023-07-30)
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